这类归划在杂沓的光电器件工序中示意出的靠得住性异常强 ，仅在迁移整圈上将汽体分成三份，对各个的间隙有异常严正的规则，在很多工序中，简略导致汽体在螺杆进口真空泵内的物理学幻化而造成干固或汽化 三、双圆裂片式 双圆裂片式的多级归划， 一、组合型(罗次+爪) 组合型(罗次+爪)螺杆进口真空泵，并且每一 级都要求很大留量的氢气具有兑水和阻隔感化，汽体在螺杆进口真空泵身材滞留的時间也短。

以便抵达好的真空度，以便深化低落用电量，用爪来成长在较高水压下的抽真空热效率 它的根底观点和汽体环路同圆裂片式归划一样，也有一些将螺杆进口真空泵一级改成星型归划，促使汽体环路相称于杂沓，促使汽体环路简略，这类归划因为提升了內部的缩紧比而促使螺杆进口真空泵用电量较低 四、三圆裂片式 三圆裂片式归划和所述体式归划的机理同样。

但这也会造成扭距减少，应用两只等距丝杆，那样可以在迁移整圈上将汽体分成五份。

那样，这促使螺杆进口真空泵內部缩紧减少，促使螺杆进口真空泵內部造成缩紧，归划用罗茨来成长在较低水压下的抽真空热效率。

犹如三圆裂片式归划可以将其分成三份 二、內部收缩型螺杆式 丝杆间容量的继续减少，这类內部缩紧同多级进口离心泵一样。

而没有像双圆裂片式分成两份。

在齿轮箱部位有些会采用两个直流马达，重启的潜质低落 五、外界收缩型螺杆式 在外界收缩型螺杆式的归划中，。