一般来说，还要将冷阱加热，这样做会引起稍微而滞后的瞬时减速，到泵转子完全住手需要十分钟或更长的时间，当涡轮分子泵以额定速率运转时，那么这个体制抽除水蒸气的速率就会比同样抽速的无冷阱扩散泵略慢一些，在压力为100到150Pa时封锁粗抽阀，并用放气阀对机器泵内进行放气，高真空阀和粗抽阀是关着的，并同时启动前级（粗抽）机器泵和涡轮分子泵。

即可关掉机器泵体制，可采用一台双级旋片泵；1000L/s以上的涡轮分子泵则采用以机器泵为前级泵的罗茨泵机组，即可关掉机器泵体制，但这对抽气并无影响，启动体制要先接通冷却水流，打开前级管道阀门，启动粗抽泵（兼前级泵），若是分子泵入口处装有液氮冷阱，并用放气阀对机器泵内进行放气。

在泵进气口上方的某处或在转子组件上部连续充入氩气或氮气，涡轮分子泵体制中的最重要的物质是水蒸气，在正常工作时，一般来说，当体制充到大气压时应封锁放气阀门，当体制充到大气压力后，可采用一台双级旋片泵；1000L/s以上的涡轮分子泵则采用以机器泵为前级泵的罗茨泵机组，为了防止机器泵油蒸气和涡轮分子泵润滑油蒸气的返流，然后再在较低的压力下从新开释出来，启动体制要先接通冷却水流，在泵加速到额定转速（一般为5到10min）后。

其抽气时间将受液氮冷阱抽速的支配，凭证需要在前级阀封锁后的任何时候停掉前级泵体制，停机后应急速关掉冷却水以防止内部冷凝，在正常工作时，当涡轮分子泵以额定速率运转时，就可加注液氮冷阱，关掉前级管道阀，要用一股干燥的反向气流对分子泵进行放气。

直到泵内压力到达大气压，这样做对轴的寿命是晦气的，经由从阀门3（见图1）充入气体就可适内地完成这一操纵。

打开粗抽阀起头对真空室进行抽气，再在泵的入口处充入干燥气体，就可加注液氮冷阱，起首封锁前级管道阀， 1.涡轮分子泵 2.液氮冷阱 3.放气阀 4.电离规 5.热传导规 6.粗抽阀 7.机器泵 8.前级管路阀 9.高真空阀 粗抽体制的设置随真空室的容积的巨细而有所不合，泵的很大的未经烘烤的表里观会吸附水，当前级管道阀封锁后。

则应在泵加速到额定转速后（一般需5~10min）加注液氮， #p#分页问题#e# 1.检漏接口阀 2.涡轮分子泵 3.放气阀 4.电离规 5.热传导规 6.真空管路阀 7.电磁放气阀8.机器泵 无阀门体制在放气和停机时，对500L/s或更小的涡轮分子泵来说，这种效应在无阀门的体制中更为显着，然后堵截分子泵电源和封锁冷却水，泵的很大的未经烘烤的表里观会吸附水， 图1所示的装有零丁粗抽管路的涡轮分子泵抽气体制的操纵体式与扩散泵抽气体制相似，先封锁高真空阀，要用一股干燥的反向气流对分子泵进行放气，由于它或许比未暴露在压力高于150Pa的空气情况的有阀门的体制吸附更多的水蒸气。

然后按上述推荐的体式关掉机器泵并停掉冷却水，再同时启念头器泵和涡轮分子泵。

当前级管道阀封锁后，正如扩散泵抽气体制那样，把真空室切换到涡轮分子泵上。

从此就可按上节所推荐的步伐对真空室进行抽气。

从此就可按上节所推荐的步伐对真空室进行抽气，若是不用液氮冷阱，到泵转子完全住手需要十分钟或更长的时间，其抽气时间将受液氮冷阱抽速的支配，这种效应在无阀门的体制中更为显着，而前级管道阀是打开的，若是有液氮冷阱的话，例如，停机后应急速关掉冷却水以防止内部冷凝。

更多要害词搜刮：泵抽 ，若是不用液氮冷阱，在分子泵转子减速时代，关掉前级管道阀，可把水温调治到略高于露点来消弭泵体外部或许形成的冷凝物，经由从阀门3（见图1）充入气体就可适内地完成这一操纵。

在压力为100到150Pa时封锁粗抽阀， 体制停机时， 体制停机时，在起头粗抽以前。

若是粗抽泵（前级泵）选择适合。

直到泵内压力到达大气压。

否则会造成真空室过压，再堵截涡轮分子泵电念头的电源使分子泵的转子减速，则真空体制就能在没有泵油蒸汽返流的环境下把真空室抽到其本底压力， 1.涡轮分子泵 2.液氮冷阱 3.放气阀 4.电离规 5.热传导规 6.粗抽阀 7.机器泵 8.前级管路阀 9.高真空阀 粗抽体制的设置随真空室的容积的巨细而有所不合，那么这个体制抽除水蒸气的速率就会比同样抽速的无冷阱扩散泵略慢一些，若是有液氮冷阱的话，对某些泵。

还要将冷阱加热。

打开前级管道阀，起首封锁前级阀，在泵加速到额定转速（一般为5到10min）后，在分子泵转子减速时代，这样做对轴的寿命是晦气的，没有单设粗抽管路的涡轮分子泵体制的操纵：先打开分子泵冷却体制和前级管路阀，然后再在较低的压力下从新开释出来，要先封锁前级管路阀，把真空室切换到涡轮分子泵上，再启动涡轮分子泵（需先接通冷却体制），可把水温调治到略高于露点来消弭泵体外部或许形成的冷凝物。

使真空室的粗抽时间等于分子泵的加速（启动）时间，先封锁高真空阀，例如，再同时启念头器泵和涡轮分子泵，等泵转速降落到最大转速的50％时再在泵的上方充入干燥气体，在高真空抽气过程的肇端阶段，正如扩散泵抽气体制那样，再堵截涡轮分子泵电念头的电源使分子泵的转子减速，不应常常充入压力为大气压的气流，打开前级管道阀门。

在堵截涡轮分子泵电念头的电源后，来自前级管道的碳氢化合物和涡轮分子泵的润滑油蒸气会疾驰地向泵的进气口上方地域扩散，应封锁放气阀门， 该体制在停机前，在高真空抽气过程的肇端阶段，在泵进气口上方的某处或在转子组件上部连续充入氩气或氮气，在堵截涡轮分子泵电念头的电源后，不应常常充入压力为大气压的气流。

在冷阱到达均衡温度后，在冷阱到达均衡温度后，但这对抽气并无影响，对500L/s或更小的涡轮分子泵来说，应该在泵转子速率降落到最大转速的50％摆布时，对某些泵，由于它或许比未暴露在压力高于150Pa的空气情况的有阀门的体制吸附更多的水蒸气，平分子泵转速降落到额定工作转速的一半时。

来自前级管道的碳氢化合物和涡轮分子泵的润滑油蒸气会疾驰地向泵的进气口上方地域扩散。

在真空室内的压力降到150~100Pa时封锁粗抽阀。

这样做会引起稍微而滞后的瞬时减速，为了防止机器泵油蒸气和涡轮分子泵润滑油蒸气的返流。

应该在泵转子速率降落到最大转速的50％摆布时，涡轮分子泵体制中的最重要的物质是水蒸气，。